半導體設施量測方案：從無塵室環境到 CDA 與冷卻水系統應用

半導體製造設施仰賴無塵室、空調與氣流系統、壓縮乾燥空氣（CDA）、冷卻水及製程輔助管路等公用系統共同運作。這些基礎設施雖不直接參與晶圓製程反應，卻會影響製程設備運轉、環境條件維持與整體設施管理效率。

當管理端缺乏即時且連續的量測資料時，環境溫濕度偏移、潔淨室壓差異常、氣流分布不均、管路壓力波動、冷卻水供應不足或 CDA 含水量升高等問題，較難在早期被發現。透過溫度、濕度、露點、風速、差壓、壓力、流量、液位與空氣品質等多參數量測，管理者可建立更完整的設施監測基礎，作為異常判斷、維護排程與系統改善的依據。

eyc-tech 提供多元的傳感器產品，涵蓋環境、氣流、露點、壓力、流量、液位與空氣品質量測，並支援常見標準訊號輸出，便於接入既有 BMS、SCADA、PLC、現場顯示儀表或資料擷取系統。透過從環境到管路的多點量測，半導體設施管理端可更即時掌握系統狀態，降低異常排查時間，並提升公用系統管理效率。

無塵室與設備周邊環境量測

半導體無塵室與製程設備周邊環境需要長時間維持穩定的溫濕度與空間壓差。除了整體製造空間的環境條件，設備內部、機台周邊或局部區域也可能因發熱、冷卻、排氣或氣流分布不均，產生微環境變化。

THS17-MD 溫濕度傳感器採用精巧短探棒結構，適合安裝於空間受限的機台內部、設備周邊或局部環境量測點，用於監測小範圍溫濕度變化。當設備周邊出現局部升溫、濕度偏移或氣流調整需求時，可提供管理端與設備維護人員判斷依據。

THS30X 系列多功能溫濕度傳感器則適合用於較大範圍的製造空間與無塵室環境，提供長期環境監測資料。透過多點配置，管理者可掌握不同區域的溫濕度分布，作為空調設定、環境穩定性評估與日常巡檢的資料基礎。

FFU、MAU、AHU 與風管氣流量測

FFU(Fan Filter Unit，風機過濾單元)、MAU(Make-up Air Unit，外氣空調箱)、AHU(Air Handling Unit，空調箱)與各類風管系統會影響潔淨室換氣、壓差維持、氣流分布與能源使用。當風速不足、風量下降或濾網壓損升高時，可能造成氣流分布不均，並增加風機負載與維護成本。

FTS140、FTS34/35 熱線式風速傳感器可安裝於風管或設備風道，用於監測送風、回風與排風狀態。透過即時風速資料，管理者可掌握各區域氣流變化，並作為風量調整與設備狀態判斷的參考。

AFMC空調型平均流速測管、AFMP 平均流速測管(皮托管)適合用於大、小管徑風管，透過多點平均量測取得風速數據。相較於單點量測，平均流速測管更適合應用於截面較大或氣流分布較不均的風管環境。

PMD330、PMM330 差壓傳感器可配置於濾網、風機或大型空調箱前後端，透過差壓變化判斷濾網壓損、阻塞程度與設備負載狀態。當差壓逐步升高時，管理端可依量測資料安排濾網更換或設備檢查，降低單純依賴固定週期維護所產生的判斷落差。

CDA 壓縮乾燥空氣露點管理

CDA 壓縮乾燥空氣廣泛用於設備氣源、氣動元件驅動與吹掃製程。若供氣含水量過高，可能導致管路積水、氣動元件動作不穩、設備腐蝕或製程輔助系統異常。因此，露點量測是 CDA 供氣品質管理的重要指標。

THS88 ECO、THS88MAX工業級露點傳感器可連續監測供氣管路的露點狀態，協助管理端掌握乾燥機與過濾系統的運作情況。相較於人工定期巡檢，連續露點資料更適合作為 CDA 品質異常判斷與維護排程依據。

當露點出現上升趨勢時，管理者可進一步檢查乾燥機負載、過濾系統狀態、管路洩漏或供氣條件變化。透過即時露點資料，可將 CDA 管理從定期檢查逐步轉為以數據追蹤為基礎的管理模式。

冷卻水與製程管路系統量測

冷卻水與製程輔助管路負責支援設備散熱、流體供應與系統循環。若供回水溫差異常、流量不足、泵浦壓差變化或液位偏離設定範圍，可能影響設備散熱效率與系統運轉安全。

TP05 溫度傳感器可用於液體與氣體溫度量測，適合配置於冷卻水、壓縮空氣、排氣或設備周邊等溫度監測點。當系統溫度出現偏移時，可作為判斷熱交換狀態、氣體供應條件或設備運轉環境變化的依據。

FTC06 溫度&水流量傳感器可安裝於液體管路，同步量測水流量與溫度，適合應用於冷卻水支線、設備供水管路或小型循環管路。當流量不足或溫度異常時，可協助判斷供水狀態、散熱條件與管路循環是否正常。

FUM06、FUM03 超音波流量傳感器採用外夾式非侵入量測方式，適合既有管路升級或不便停機切管的場域。透過外夾式安裝，管理端可降低施工風險，並快速建立冷卻水或製程管路的流量監測點。

P048壓力、P063差壓傳感器可用於管路壓力與泵浦壓差量測，協助判斷管路阻力、泵浦運轉狀態與過濾器堵塞情形。當壓力或差壓數據出現異常變化時，可作為檢查管路、閥件、泵浦或過濾設備的參考。

L051 水位傳感器可應用於水槽、儲液槽或補排水系統，提供液位狀態監測與異常警報判斷。透過液位資料，管理者可掌握補水、排水與儲液狀態，降低液位異常對系統供應造成的影響。

室內空氣品質與設備空間環境量測

除了主要無塵室區域，獨立機房、氣瓶室、地下通風區、工作空間與外圍設備區，也需要掌握空氣品質與環境條件。這些區域通常與人員巡檢、通風效率及設備維護有關。若換氣不足、二氧化碳濃度偏高，或懸浮微粒累積，可能影響現場作業安全與環境管理效率。

針對不同室內與設備空間，eyc-tech 提供多款壁掛式環境傳感器，可依監測參數需求選擇對應產品。THG03 二氧化碳溫濕度傳感器可同時監測 CO₂、溫度與濕度，適合用於工作空間、機房或一般室內環境，作為換氣狀態與環境舒適度判斷的基礎資料。

GS23 二氧化碳傳感器則聚焦於 CO₂ 濃度監測，適合配置於工作環境、通風區域或人員活動較密集的空間。當 CO₂ 濃度升高時，可作為通風調整、空調運轉或空間使用狀態評估的參考。

若場域需要同時掌握溫濕度、CO₂ 與 PM2.5，TGP03 多功能 CO₂／PM2.5 室內空氣品質監控器可提供較完整的多參數環境資料，適合應用於外圍設備區、地下通風區或對空氣品質變化較敏感的室內空間。透過這些量測資料，管理端可將空氣品質納入日常巡檢與異常管理流程。

現場顯示與訊號整合

在半導體設施管理中，量測資料除了需要回傳至中央監控系統，現場端也需要具備直觀的數值讀取能力。當巡檢人員需要快速確認設備狀態、判斷異常位置或進行維護作業時，現場顯示儀表可提升判斷效率。

SD05整合型訊號顯示器與 DPM02 多功能訊號顯示監控器可搭配各式傳感器，提供即時數據顯示與現場警報輸出。現場維運人員可在設備端、管路旁或機房內直接讀取量測數值，降低往返中央系統查詢資料的時間。

DPT02 顯示型訊號轉換器可作為現場訊號儀表，負責電流或電壓訊號的顯示、轉換與再傳送。當現場存在多種感測訊號或需要整合至既有控制系統時，可協助完成訊號轉換與資料銜接，使現場端與中央系統之間的資料傳遞更一致。

建立半導體設施的連續量測基礎

半導體製造設施的穩定運作，仰賴環境條件、氣流系統、CDA 供氣、冷卻水與製程輔助管路的共同配合。當溫濕度、露點、差壓、流量、壓力或液位出現偏移時，單一量測點通常不足以判斷完整原因。透過多點整合量測，管理者可比對不同系統的數據變化，進一步判斷異常來源是環境條件改變、濾網壓損升高、管路阻力增加、冷卻水供應不足，或 CDA 乾燥效能下降。

eyc-tech傳感器支援標準化輸出訊號，可接入既有 BMS、SCADA、PLC、資料擷取系統或現場顯示設備。透過從無塵室環境、空調氣流、CDA 露點、冷卻水管路到空氣品質的連續量測，半導體設施管理可將過去以定期巡檢為主的作業方式，逐步轉為以數據追蹤、異常比對與維護排程為基礎的管理模式。

在建置成本、施工風險與系統整合需求都需要被考量的半導體設施中，傳感器量測不只是單點監控設備，更是支撐設施判斷、設備維護與長期穩定運轉的資料基礎。