凌嘉科技｜晶圓蝕刻設備廢氣排放監測
凌嘉科技｜晶圓蝕刻設備廢氣排放監測
客戶名稱：凌嘉科技
產業：半導體
應用情境：晶圓蝕刻機（Etching Equipment）
專案背景：製程廢氣排放監測
在半導體晶圓蝕刻製程中，設備會產生多種製程氣體與副產物，其中包含具有腐蝕性的氣體，例如四氟化矽（SiF₄）。這些氣體需透過排氣系統進行有效排放與處理，以確保製程設備運作安全並維持廠務系統穩定。
客戶痛點：
在蝕刻製程過程中，排氣管路中的氣體具有腐蝕性與一定溫度變化，若無法穩定掌握排氣流速與氣流狀態，可能影響排氣系統運行效率與製程設備的穩定性。因此客戶需要能夠在排氣管道中持續量測氣流條件的量測設備。導入產品類型：
風速風量傳感器導入成果：
透過導入風速風量傳感器進行排氣流速量測，客戶可持續監測蝕刻設備排氣管道中的氣流狀態，並將量測數據整合至廠務監控系統中。藉由穩定的氣流量測數據，協助工程人員掌握排氣系統運行狀況，提升製程設備與排氣系統的運作管理能力。
相關產品
感測器種類：Pt20 / Pt300(風速) / Pt1000(溫度)
量測範圍：0 ... 120 Nm/s
輸出：4 ... 20 mA / 0 ... 10 V / RS-485 / Impulse
精度：0 ... 40 m/s : ±(1% of mv+0.5 m/s)，40 ... 60 m/s : ±(1% of mv+1 m/s)，90 ... 120 m/s : ±(1% of mv+1.5 m/s)
防護等級：IP67(測棒) / IP65(本體)
