凌嘉科技｜晶圓蝕刻設備廢氣排放監測 客戶名稱：凌嘉科技 產業：半導體 應用情境：晶圓蝕刻機（Etching Equipment） 專案背景：製程廢氣排放監測 在半導體晶圓蝕刻製程中，設備會產生多種製程氣體與副產物，其中包含具有腐蝕性的氣體，例如四氟化矽（SiF₄）。這些氣體需透過排氣系統進行有效排放與處理，以確保製程設備運作安全並維持廠務系統穩定。 客戶痛點： 在蝕刻製程過程中，排氣管路中的氣體具有腐蝕性與一定溫度變化，若無法穩定掌握排氣流速與氣流狀態，可能影響排氣系統運行效率與製程設備的穩定性。因此客戶需要能...