無塵室環境監測：差壓、溫濕度與風速傳感器應用
半導體、生技製藥與精密電子製造的無塵室，需要持續掌握區域壓力關係、室內溫濕度及空調氣流條件。不同量測參數應在適當的位置分別配置，才能建立可供趨勢比較的環境資料。
無塵室環境監測應綜合觀察相鄰區域差壓、代表性室內與風管溫濕度，以及風管風速變化。這些資料可協助辨識環境條件異常，但不能取代空氣懸浮微粒濃度驗證。
無塵室環境監測需要掌握哪些參數？
| 監測參數 | 主要用途 | 建議測點 |
|---|---|---|
| 差壓（D.P.） | 觀察相鄰潔淨區域之間的壓力關係 | 作業區、走廊、緩衝區 |
| 溫度／相對濕度（T / H） | 追蹤室內環境與空調供應條件 | 室內代表性位置、送回風風管 |
| 風速（F） | 觀察風管氣流速度及通風趨勢 | 送風管、回風管適當管段 |
無塵室環境監測位置示意圖
三項量測如何配合判讀？
差壓監測：了解壓力梯度，而不是直接判斷潔淨度
正壓配置可減少相鄰空氣進入特定區域的風險；需要污染物圍堵的製程也可能採負壓。PMD330 可持續追蹤房間差壓，PMM330 則可依其導通式結構與量程評估用於一般 HVAC 微差壓測點。
溫濕度監測：比較室內與供風條件
THS301 掛壁型可配置於具代表性的作業區位置；THS302 風管型則用於適當送回風管段。比較兩側趨勢，可協助判斷升溫或濕度變化是源於供風條件還是室內負載。
風速監測：觀察風管氣流變化
FTS34／35 利用熱傳變化取得風速訊號，適合於符合安裝要求的空調風管測點。單點風速不等於風管總風量，也不能單憑讀值判斷局部層流品質。
對應量測產品與選型
依量測原理、監測區域及安裝條件選型；以下四組產品分別對應房間壓差、HVAC 微差壓、室內／風管溫濕度及風管風速。
PMD330 差壓傳感器
適用於房間與相鄰區域的差壓監測，協助掌握壓力梯度與運轉變化。
- 量測原理
- 壓阻式、非導通結構
- 適用位置
- 無塵室、走廊與緩衝區之間
- 量測範圍／配置
- ±50 ... ±10,000 Pa
PMM330 差壓傳感器
針對低差壓量測與 HVAC 應用，可依介質、量程及安裝條件評估選用。
- 量測原理
- 熱線式、導通結構
- 適用位置
- 一般 HVAC／微差壓測點
- 量測範圍／配置
- ±50 ... ±1,500 Pa
THS301／THS302 溫濕度傳感器
結合室內與送回風管量測點，可比對作業區與空調供應條件的差異。
- 量測原理
- 電容式濕度元件與 Pt100
- 適用位置
- THS301 室內掛壁；THS302 風管
- 量測範圍／配置
- 溫度依型號；濕度 0 ... 100%RH
FTS34／35 風速傳感器
以氣流熱傳變化取得風速訊號，追蹤風管送風與回風條件變動。
- 量測原理
- 熱線式熱質量測
- 適用位置
- 送回風風管代表性管段
- 量測範圍／配置
- 風速量程可選至 40 m/s
監測數據的應用情境
差壓維持穩定，但局部送風似乎不足
差壓僅反映兩點之間的壓力關係，無法代表房間內每處的氣流分布。應分別檢查送風設備、風管風速及局部氣流條件。
室內溫度持續升高，送風溫度卻變化不大
比較 THS301 與 THS302 的量測趨勢，並對照設備啟停、熱負載與風門狀態，可縮小異常調查的範圍。
無塵室環境監測常見問題
無塵室一定採正壓嗎？
不一定。壓力方向與壓差值需依製程和污染控制目標規劃，有些圍堵應用採負壓配置。
差壓正常是否代表潔淨度正常？
不能。差壓、風速與空氣懸浮微粒濃度是不同參數，潔淨度分級仍需依適用標準進行驗證。
如何選擇無塵室監測傳感器？
先確認參數與測點，再比對量程、精度、安裝方式、介質條件及輸出訊號；實際規格以各產品最新版型錄為準。
技術說明：差壓、溫濕度及風速傳感器提供環境監測資料，不等同空氣懸浮微粒分級量測；潔淨度分級仍應依適用標準及現場製程要求確認。